WS-001 イオンビームスパッタ装置

イオンビームスパッタ装置

装置分類	高品質製膜装置群
設備ID	WS-001
設備名	イオンビームスパッタ装置
設備名(英語)	Ion Beam Sputter
型番	MILLATRON 820
メーカー名	伯東(株)
設置場所	205
特徴	基板加熱、多層成膜加工スパッタリング（スパッタ）
仕様	デュアルイオンビームスパッタ装置試料サイズ　４インチ以下４ターゲット