設備写真	設備分類	設備ID	設備名	設備名(英語)	型番	メーカー名	設置場所	特徴
	高品質製膜装置群	WS-001	イオンビームスパッタ装置	Ion Beam Sputter	MILLATRON 820	伯東(株)	205	基板加熱、多層成膜加工 スパッタリング（スパッタ）
	高品質製膜装置群	WS-002	電子ビーム蒸着装置1	Electron Beam Vapor Deposition system 1	EVC-1501	キヤノンアネルバ(株)	205	配線材料専用 積層成膜 電子ビーム蒸着
	高品質製膜装置群	WS-003	電子ビーム蒸着装置2	Electron Beam Vapor Deposition system 2	EBX-6D	(株)アルバック	205	積層成膜 電子ビーム蒸着
	高品質製膜装置群	WS-004	原子層堆積装置	Atomic Layer Deposition Systems	SUNALE R-150	アプライドマテリアルズジャパン(株)	202	アルミナの成膜 原子層堆積（ALD）装置
	めっき装置群	WS-005	精密21＋ドラフト群	plating system	特注品	特注品	212	各種メッキに対応可能 めっき
	表面処理・接合装置群	WS-006	プラズマアッシャー3	Plasma Reactor 3	PR500	ヤマト科学(株)	202	表面処理・クリーニング プラズマ処理
	ドライエッチング装置群	WS-007	ICP-RIE装置	Inductively Coupled Plasma reactive ion etching	RIE-101iPH	サムコ(株)	202	表面処理・エッチング プラズマエッチング
	ドライエッチング装置群	WS-008	CCP-RIE装置	Capacitive Coupled Plasma reactive ion etching	RIE-10NR	サムコ(株)	202	浅いエッチング プラズマエッチング
	ドライエッチング装置群	WS-009	Deep-RIE装置	Deep Reactive Ion Etching	RIE-400iPB	サムコ(株)	202	Siの深いエッチング プラズマエッチング
	電子顕微鏡群	WS-010	集束イオン/電子ビーム加工観察装置	Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy	NB-5000	(株) 日立ハイテク	216	FIB 集束イオンビーム（FIB） 走査型電子顕微鏡
	電子顕微鏡群	WS-011	電界放出型走査電子顕微鏡1	Field-Emission Scanning Electron Microscope 1	S-4800	(株) 日立ハイテク	216	FE-SEM 走査型電子顕微鏡
	電子顕微鏡群	WS-012	電界放出型走査電子顕微鏡2	Field-Emission Scanning Electron Microscope 2	SU8240	(株) 日立ハイテク	216	FE-SEM 走査型電子顕微鏡
	電子顕微鏡群	WS-013	電界放出型走査電子顕微鏡3	Field-Emission Scanning Electron Microscope 3	S5500	(株) 日立ハイテク	216	FE-SEM 走査型電子顕微鏡
	微細パターン露光描画装置群	WS-014	紫外線露光装置(両面マスクアライナ)	Ultraviolet Lithography	MA6/BA6	ズース・マイクロテック(株)	207	UV露光/G線(436 nm)、I線(365 nm) 光露光（マスクアライナ）
	微細パターン露光描画装置群	WS-015	電子ビーム描画装置	Electron Beam Lithography Exposure	ELS-7500	(株)エリオニクス	207	電子線描画（EB）（マスクレス、直接描画）
	微細パターン露光描画装置群	WS-016	レーザー直接描画装置	Advanced Maskless Aligner	MLA150	ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック社	207	マスク作成可能 光露光（マスクレス、直接描画）
	表面観察・分析装置群	WS-020	顕微ラマン分光装置	Raman Microscope	nanofinder 30	(株)　東京インスツルメンツ	214(A)	三次元イメージング ラマン分光
	表面観察・分析装置群	WS-021	触針式段差計	Stylus Profiler	プロファイラーP-15	ケーエルエー・テンコール(株)	215(B)	プロセス中のサンプルの段差確認 段差計
	デバイス電気特性測定装置群	WS-022	高耐圧デバイス測定装置＋高耐圧プローバ	High Voltage Semiconductor Device Analyzer	プローバ：特注品測定装置：B1505A	プローバ：長瀬産業(株)測定装置：アジレント	B103	パワーデバイス用 電気特性評価
	デバイス電気特性測定装置群	WS-023	高性能半導体パラメータアナライザ＋プローバ	Semiconductor Device Analyzer	プローバ：長瀬産業社製（特注品）測定装置：アジレント社製B1500ALCRメータ4284A	キーサイト・テクノロジー(株)	B103	高精度デバイス用 電気特性評価