WS-003 電子ビーム蒸着装置2

電子ビーム蒸着装置2

装置分類	高品質製膜装置群
設備ID	WS-003
設備名	電子ビーム蒸着装置2
設備名(英語)	Electron Beam Vapor Deposition system 2
型番	EBX-6D
メーカー名	(株)アルバック
設置場所	205
特徴	積層成膜電子ビーム蒸着
仕様	試料サイズ　４インチ以下(プラネタリーホルダーにより、複数枚成膜可能) 金属(Cu, Cr, Ni, Al, Au, Ag等)および絶縁膜(SiO2, ZnO等)の成膜蒸着材料は、応相談。