早稲田 3連電気炉

3連電気炉

装置分類	高品質製膜装置群
設備ID
設備名	3連電気炉
設備名(英語)	Electric Furnaces (Three Tubes)
型番	特注
メーカー名	東横化学(株)
設置場所	202
特徴	Siの熱酸化膜成膜装置
仕様	O2ガスによるSi表面の熱酸化膜作製基板サイズ：20 mm角以下サンプルはSiのみ A炉：ウェット酸化 B炉：ドライ酸化最高温度：1000 ℃ ※炉内の汚染防止のため、金属や有機物付サンプルの投入禁止 ※特にB炉は所定の洗浄をしたSi基板のみ投入可能