WS-015 電子ビーム描画装置

電子ビーム描画装置

装置分類	微細パターン露光描画装置群
設備ID	WS-015
設備名	電子ビーム描画装置
設備名(英語)	Electron Beam Lithography Exposure
型番	ELS-7500
メーカー名	(株)エリオニクス
設置場所	207
特徴	電子線描画（EB）（マスクレス、直接描画）
仕様	最小線幅：10 nm 基板サイズ10ｍｍ角～4インチ加速電圧：5～50 kＶ