WS-016 レーザー直接描画装置

レーザー直接描画装置

装置分類	微細パターン露光描画装置群
設備ID	WS-016
設備名	レーザー直接描画装置
設備名(英語)	Advanced Maskless Aligner
型番	MLA150
メーカー名	ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック社
設置場所	207
特徴	マスク作成可能光露光（マスクレス、直接描画）
仕様	(375nm Diode、SU-8対応) 最小線幅1μm 基板サイズ～6インチ