スピンコーター1

装置分類	微細パターン露光描画装置群
設備ID
設備名	スピンコーター1
設備名(英語)	Spin coater 1
型番	MS-B150
メーカー名	ミカサ(株)
設置場所	207
特徴	φ6インチシリコンウエハー膜厚分布±0.6％（レジスト膜厚1um）
仕様	最大基板サイズ：φ6インチウエハー又は100×100mm基板回転数(rpm)：20～7,000

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター