WS-010 集束イオン/電子ビーム加工観察装置
集束イオン/電子ビーム加工観察装置
| 装置分類 | 電子顕微鏡群 |
|---|---|
| 設備ID | WS-010 |
| 設備名 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 |
| 設備名(英語) | Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy |
| 型番 | NB-5000 |
| メーカー名 | (株) 日立ハイテク |
| 設置場所 | 216 |
| 特徴 | FIB 集束イオンビーム（FIB） 走査型電子顕微鏡 |
| 仕様 | FIB加工中の同時SEM観察可能 ～80万倍, 試料サイズ最大30mmΦ エネルギー分散型X線元素分析機能（EDAX） ・ シリコンドリフトディテクター （SDD検出器） ・ エネルギー分解能： 133eV以下 ・ 検出元素：B～U ・ 定性分析／定量分析／マッピング機能搭載 STEM機能付き（薄膜化した後の高精度観察が可能） |