WS-011 電界放出型走査電子顕微鏡1

電界放出型走査電子顕微鏡1

装置分類	電子顕微鏡群
設備ID	WS-011
設備名	電界放出型走査電子顕微鏡1
設備名(英語)	Field-Emission Scanning Electron Microscope 1
型番	S-4800
メーカー名	(株) 日立ハイテク
設置場所	216
特徴	FE-SEM 走査型電子顕微鏡
仕様	試料サイズ最大20mm角セミインレンズ方式による高分解能（～x600k） EDAXによる元素分析