WS-012 電界放出型走査電子顕微鏡2
電界放出型走査電子顕微鏡2
| 装置分類 | 電子顕微鏡群 |
|---|---|
| 設備ID | WS-012 |
| 設備名 | 電界放出型走査電子顕微鏡2 |
| 設備名(英語) | Field-Emission Scanning Electron Microscope 2 |
| 型番 | SU8240 |
| メーカー名 | (株) 日立ハイテク |
| 設置場所 | 216 |
| 特徴 | FE-SEM 走査型電子顕微鏡 |
| 仕様 | 二次電子分解能 0.8nm （加速電圧15kV、WD＝4mm、倍率270kx） 1.1nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、倍率200kx） 照射電圧 0.01～30kV 倍率 20～1,000,000倍 可動範囲:X 0～110mm,Y 0～80mm,R 360° Z 1.5～40mm,T -5～70° IM4000形イオンミリング装置付き（サンプルの断面ミリングと平面ミリング可能） EDS System付き（元素分析可能） |