イオンミリング

装置分類	観察用試料処理装置群
設備ID
設備名	イオンミリング
設備名(英語)	Ion Milling System
型番	IM4000
メーカー名	(株) 日立ハイテク
設置場所	216
特徴	クロスセクションポリッシャー SEM（SU8240）共通ホルダー冷却加工対応
仕様	使用ガス：アルゴン加速電圧：０～６ｋV

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター