早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター

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WS-022 高耐圧デバイス測定装置+高耐圧プローバ

高耐圧デバイス測定装置+高耐圧プローバ


装置分類 デバイス電気特性測定装置群
設備ID WS-022
設備名 高耐圧デバイス測定装置+高耐圧プローバ
設備名(英語) High Voltage Semiconductor Device Analyzer
型番 プローバ:特注品測定装置:B1505A
メーカー名 プローバ:長瀬産業(株)測定装置:アジレント
設置場所 B103
特徴 パワーデバイス用 電気特性評価
仕様10K~600Kの真空環境下での高耐圧デバイス(2000V又は20A MAX)測定可能、25mmx25mm以下(測定範囲) 測定装置:アジレント社製B1505A 3000V までの電圧印加と高精度測定 最小パルス幅50 μs の 大電流モジュール(最大20 A) カーブトレーサ・モードでの デバイスのクイックチェック