WS-023 高性能半導体パラメータアナライザ＋プローバ
高性能半導体パラメータアナライザ＋プローバ
| 装置分類 | デバイス電気特性測定装置群 |
|---|---|
| 設備ID | WS-023 |
| 設備名 | 高性能半導体パラメータアナライザ＋プローバ |
| 設備名(英語) | Semiconductor Device Analyzer |
| 型番 | プローバ：長瀬産業社製（特注品）測定装置：アジレント社製B1500ALCRメータ4284A |
| メーカー名 | キーサイト・テクノロジー(株) |
| 設置場所 | B103 |
| 特徴 | 高精度デバイス用 電気特性評価 |
| 仕様 | ・0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流／電圧（IV）測定をサポート ・ハイ・パワー／メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生（最大±40 V）をサポート ・準静的および中間周波数キャパシタンス／電圧（CV）測定をサポート |