半導体パラメータアナライザ

装置分類	デバイス電気特性測定装置群
設備ID
設備名	半導体パラメータアナライザ
設備名(英語)	Semiconductor Parameter Analyzer
型番	4200-SCS
メーカー名	Keithley
設置場所	B103
特徴
仕様

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター