接触式膜厚測定装置

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID
設備名	接触式膜厚測定装置
設備名(英語)	Programmable Surface Profiler Measuring System
型番	DEKTAK 6M
メーカー名	ブルカージャパン(株)
設置場所	202
特徴	触針式段差計
仕様	基板サイズ：小片～4インチステージは手動 ※現在ステージY方向の移動不可（応急処置済）

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター