WS-021 触針式段差計

触針式段差計

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID	WS-021
設備名	触針式段差計
設備名(英語)	Stylus Profiler
型番	プロファイラーP-15
メーカー名	ケーエルエー・テンコール(株)
設置場所	215(B)
特徴	プロセス中のサンプルの段差確認段差計
仕様	試料サイズ150mm 3D表面形状測定器基板サイズ～6"

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