走査プローブ顕微鏡

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID
設備名	走査プローブ顕微鏡
設備名(英語)	Scanning Probe Microscope
型番	MMAFM
メーカー名	日本ビーコ(株)
設置場所	215(B)
特徴	試料表面の凹凸を3次元トポグラフィとして可視化コンタクトモードタッピングモード
仕様	試料サイズ：最大Φ10 mm XYスキャン範囲：最大約90–100 µm程度 Zレンジ：約5–6 µm 垂直分解能：サブnmレベル（<1 nm級）

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター