WS-006 プラズマアッシャー

プラズマアッシャー

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID	WS-006
設備名	プラズマアッシャー
設備名(英語)	Plasma Reactor 3
型番	PR500
メーカー名	ヤマト科学(株)
設置場所	202
特徴	表面処理・クリーニングプラズマ処理
仕様	使用ガス：O2ガス試料サイズ：φ4インチ以下用途：レジストの灰化除去　　　（ドライエッチング後のO2アッシング）　　　有機系汚染物質のクリーニング　　　Si表面の親水化処理等