早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター
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プラズマアッシャー2
プラズマアッシャー2
装置分類
表面処理・接合装置群
設備ID
設備名
プラズマアッシャー2
設備名(英語)
Plasma System 2
型番
PR301
メーカー名
ヤマト科学(株)
設置場所
212
特徴
仕様
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