早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター

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プラズマアッシャー2

プラズマアッシャー2


装置分類 表面処理・接合装置群
設備ID
設備名 プラズマアッシャー2
設備名(英語) Plasma System 2
型番 PR301
メーカー名 ヤマト科学(株)
設置場所 212
特徴
仕様