イオンミリング装置

装置分類	ドライエッチング装置群
設備ID
設備名	イオンミリング装置
設備名(英語)	Ion Milling System
型番	IMR-3-8
メーカー名	(株)日立製作所
設置場所	B106
特徴	Arイオンミリングにより材料をエッチングする装置
仕様	使用可能ガス：Ar、O2 基板サイズ：小片～4インチ基板は冷却（冷却水＋Heガス）

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター