エキシマ照射装置2

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	エキシマ照射装置2
設備名(英語)	Excimer Irradiation equipment 2
型番	なし
メーカー名	自作（ウシオ電機(株)）
設置場所	B106
特徴	真空中でエキシマ光照射、またはO2ガス雰囲気でエキシマ光照射（O3ガス）して膜表面を活性化
仕様	エキシマ光波長：172 nm 基板サイズ：小片～3インチ基板材料：無機物のみ

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター