オゾンクリーナー

オゾンクリーナー

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	オゾンクリーナー
設備名(英語)	UV Ozone Cleaner
型番	UV253
メーカー名	フィルジェン(株)
設置場所	202
特徴	有機汚染物質除去装置
仕様	水銀ランプ：4.5Wx3 オゾン発生量：5mg/Hrx3 波長：185nm・254nm

ページトップ Page Top