プラズマアッシャー1

プラズマアッシャー1

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	プラズマアッシャー1
設備名(英語)	Plasma System 1
型番	LF-5
メーカー名	Mercator Control System
設置場所	212
特徴
仕様

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