プラズマアッシャー2

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	プラズマアッシャー2
設備名(英語)	Plasma System 2
型番	PR301
メーカー名	ヤマト科学(株)
設置場所	212
特徴	樹脂・ガラス・金属の表面クリーニング有機物の除去表面活性化処理
仕様	高周波出力：最大300 W 発振周波数：13.56 MHz 反応ガス：酸素（O2）反応槽サイズ：Φ118×160 mm

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター