プラズマ装置

プラズマ装置

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	プラズマ装置
設備名(英語)	Plasma Reactor
型番	PL8
メーカー名	兼松PWS(株)
設置場所	B106
特徴	表面処理・クリーニングプラズマ処理
仕様	使用可能ガス：Ar、O2、N2 基板サイズ：小片～4インチ

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