レーザー顕微鏡

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID
設備名	レーザー顕微鏡
設備名(英語)	Laser Microscope
型番	VK-X220（制御部）VK-X210（顕微鏡部）
メーカー名	(株)キーエンス
設置場所	202
特徴	レーザー光の反射により、上面からの観察で Z方向の高さ測定や面粗さ測定が可能
仕様	レーザー：バイオレットレーザー（波長408 nm）対物レンズ：10x、20x、50x、150x ステージ：X, Yは自動、Zは手動

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター