半導体パラメータアナライザ

装置分類	デバイス電気特性測定装置群
設備ID
設備名	半導体パラメータアナライザ
設備名(英語)	Semiconductor Parameter Analyzer
型番	4200-SCS
メーカー名	Keithley
設置場所	B103
特徴	電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定等
仕様	SMU 測定レンジ　電圧　1μV/200V, 電流　0.1fA/1A

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター