薄膜物性評価装置

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID
設備名	薄膜物性評価装置
設備名(英語)	Thin Film Property Evaluation System
型番	MH4000
メーカー名	NEC三栄(株)
設置場所	215(A)
特徴
仕様

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター