薄膜物性評価装置

装置分類	表面観察・分析装置群
設備ID
設備名	薄膜物性評価装置
設備名(英語)	Thin Film Property Evaluation System
型番	MH4000
メーカー名	NEC三栄(株)
設置場所	215(A)
特徴	薄膜の硬度測定
仕様	荷重範囲：0~98 mN 押し込み深さ範囲：0 ～ 5 µm 圧子：三角錐ダイヤモンド圧子

早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター