早稲田　RTA/RTO

RTA/RTO

装置分類	表面処理・接合装置群
設備ID
設備名	RTA/RTO
設備名(英語)	Rapid Thermal Anealing/ Rapid Thermal Oxidation
型番	P610CP 7085
メーカー名	アドバンス理工(株)
設置場所	202
特徴	ガス雰囲気中での熱処理装置
仕様	基板サイズ：20 mm角以下使用可能ガス：O2ガス、N2ガス最高温度：850 ℃まで Arガス、Ar＋H2ガス（3%）は配管接続変更により対応可 ※真空雰囲気での熱処理はできません。