WS-002 電子ビーム蒸着装置1

電子ビーム蒸着装置1

装置分類	高品質製膜装置群
設備ID	WS-002
設備名	電子ビーム蒸着装置1
設備名(英語)	Electron Beam Vapor Deposition system 1
型番	EVC-1501
メーカー名	キヤノンアネルバ(株)
設置場所	205
特徴	配線材料専用積層成膜電子ビーム蒸着
仕様	試料サイズ　４インチ以下 Au, Cr, Ti, Pt専用 4インチウエハ18枚同時成膜可能（プラネタリーホルダー）