WS-013 電界放出型走査電子顕微鏡3

電界放出型走査電子顕微鏡3

装置分類	電子顕微鏡群
設備ID	WS-013
設備名	電界放出型走査電子顕微鏡3
設備名(英語)	Field-Emission Scanning Electron Microscope 3
型番	S5500
メーカー名	(株) 日立ハイテク
設置場所	216
特徴	FE-SEM 走査型電子顕微鏡
仕様	試料サイズ　平面5.0mmX9.5mmX3.5mmH 断面2.0mmX6.0mmX5.0mmH 倍率　～×2M (高倍率モード)