WS-027 ダイシングソー

ダイシングソー

装置分類	基板加工装置群
設備ID	WS-027
設備名	ダイシングソー
設備名(英語)	Dicing Saw
型番	DAD321
メーカー名	(株)ディスコ
設置場所	214(B)
特徴	Si、ガラス切断用ダイシング、スクライバ
仕様	ø 6"対応のマニュアルダイシングソー最大ワークサイズ 160 x 160 切削可能範囲 X軸：192mm Y軸：162mm Z軸有効ストローク：28.2ｍｍ回転数範囲：3,000 - 40,000RPM