WS-032 グロー放電分光分析装置
グロー放電分光分析装置
| 装置分類 | 元素分析装置 |
|---|---|
| 設備ID | WS-032 |
| 設備名 | グロー放電分光分析装置 |
| 設備名(英語) | Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry |
| 型番 | JY 5000 RF |
| メーカー名 | (株)堀場製作所 |
| 設置場所 | 215(B) |
| 特徴 | 薄膜の迅速表面分析が可能 試料の導入が大気中で可能 Ｈ, Ｃ, Ｎ, Ｏのような軽元素の測定が容易 |
| 仕様 | プラズマガス：アルゴン(Ar) 高周波：13.56 MHz スパッタ領域：Φ4 mm 試料サイズ：Φ14~70 mm 波長範囲：110~620 nm（ポリクロメータ），600~800 nm（フラットフィールドポリクロメータ），165~800 nm（モノクロメータ） |