設備写真	設備分類	設備ID	設備名	設備名(英語)	型番	メーカー名	設置場所	特徴
	表面処理・接合装置群		プラズマ装置	Plasma Reactor	PL8	兼松PWS(株)	B106	表面処理・クリーニング プラズマ処理
	表面観察・分析装置群		レーザー顕微鏡	Laser Microscope	VK-X220（制御部）VK-X210（顕微鏡部）	(株)キーエンス	202	レーザー光の反射により、上面からの観察で Z方向の高さ測定や面粗さ測定が可能
	分光光度計群		分光蛍光光度計	Spectrofluorometer	FP-8550	日本分光(株)	B106
	表面観察・分析装置群		分子間プローブ顕微鏡システム	Intermolecular Probe Microscopy System	MFP-3D-IO-OLY	(株)アサイラムテクノロジー	B106
	表面観察・分析装置群		分極測定装置1	Electrochemical Measurement System 1	HZ-7000	明電北斗(株)	212
	表面観察・分析装置群		分極測定装置2	Electrochemical Measurement System 2	HZ-7000	明電北斗(株)	212
	デバイス電気特性測定装置群		半導体パラメータアナライザ	Semiconductor Parameter Analyzer	4200-SCS	Keithley	B103
	観察用試料処理装置群		卓上型精密研磨装置	Tabletop Precision Polisher	IS-POLISHER	(株)池上精機	216
	表面処理・接合装置群		恒温槽	Forced Convection Oven	DN600	ヤマト科学(株)	209F
	表面処理・接合装置群		接合装置(ウエハーボンダー)	Substrate Bonder	SB6E	兼松PWS(株)	B106	真空中での加温と加圧でウェハどうしを接合する装置
	表面観察・分析装置群		接触式膜厚測定装置	Programmable Surface Profiler Measuring System	DEKTAK 6M	ブルカージャパン(株)	202	触針式段差計
	表面観察・分析装置群		接触角計	Contact Angle Meter	DM500	協和界面科学(株)	B106	固体試料表面上の液体試料の接触角を測定する装置
	高品質製膜装置群		3連電気炉	Electric Furnaces (Three Tubes)	特注	東横化学(株)	202	Siの熱酸化膜成膜装置
	表面観察・分析装置群		ＡＦＭ装置	Atomic Force Microscope	Dimension 3000	日本ビーコ(株)	215(B)
	表面処理・接合装置群		CMP研磨システム(卓上用)	Chemical Mechanical Polishing System	MA-400D	ムサシノ電子(株)	212
	表面処理・接合装置群		RTA/RTO	Rapid Thermal Anealing/ Rapid Thermal Oxidation	P610CP 7085	アドバンス理工(株)	202	ガス雰囲気中での熱処理装置
	バイオサンプル用装置群		正立型微分干渉・蛍光顕微鏡	Upright Differential Interference Contrast / Fluorescence Microscope	BX51	(株)エビデント	B120
	電子顕微鏡群		簡易SEM	Tabletop Microscope	TM-1000	(株) 日立ハイテク	216
	分光光度計群		紫外可視近赤外分光光度計	UV-Visible Spectrophotometer	V-750	日本分光(株)	B106
	バイオサンプル用装置群		細胞培養用汎用機器類	General Cell Culture Equipment			B120