設備写真	設備分類	設備ID	設備名	設備名(英語)	型番	メーカー名	設置場所	特徴
	表面処理・接合装置群		プラズマ装置	Plasma Reactor	PL8	兼松PWS(株)	B106	表面処理・クリーニング プラズマ処理
	表面観察・分析装置群		レーザー顕微鏡	Laser Microscope	VK-X200（制御部） VK-X210（顕微鏡部）	(株)キーエンス	202	レーザー光の反射により、上面からの観察で Z方向の高さ測定や面粗さ測定が可能
	分光光度計群		分光蛍光光度計	Spectrofluorometer	FP-8550	日本分光(株)	B106	液体試料の蛍光スペクトルの取得
	表面観察・分析装置群		分子間プローブ顕微鏡システム	Intermolecular Probe Microscopy System	MFP-3D-IO-OLY	(株)アサイラムテクノロジー	B106	試料表面の凹凸を3次元トポグラフィとして可視化 タッピングモード（ACモード） コンテクトモード
	表面観察・分析装置群		分極測定装置1	Electrochemical Measurement System 1	HZ-7000	明電北斗(株)	212	リモート専用機 各種電気化学測定 電解めっき電源
	表面観察・分析装置群		分極測定装置2	Electrochemical Measurement System 2	HZ-7000	明電北斗(株)	212	リモート・スタンドアロン対応 各種電気化学測定 電解めっき電源
	デバイス電気特性測定装置群		半導体パラメータアナライザ	Semiconductor Parameter Analyzer	4200-SCS	Keithley	B103	電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定等
	観察用試料処理装置群		卓上型精密研磨装置	Tabletop Precision Polisher	IS-POLISHER	(株)池上精機	216	IM4000の前処理可
	表面処理・接合装置群		恒温槽	Forced Convection Oven	DN600	ヤマト科学(株)	209F	定値運転 オートスタート・オートストップ運転 プログラム運転
	表面処理・接合装置群		接合装置(ウエハーボンダー)	Substrate Bonder	SB6E	兼松PWS(株)	B106	真空中での加温と加圧でウェハどうしを接合する装置
	表面観察・分析装置群		接触式膜厚測定装置	Programmable Surface Profiler Measuring System	DEKTAK 6M	ブルカージャパン(株)	202	触針式段差計
	表面観察・分析装置群		接触角計	Contact Angle Meter	DM500	協和界面科学(株)	B106	固体試料表面上の液体試料の接触角を測定する装置
	高品質製膜装置群		3連電気炉	Electric Furnaces (Three Tubes)	特注	東横化学(株)	202	Siの熱酸化膜成膜装置
	表面観察・分析装置群		ＡＦＭ装置	Atomic Force Microscope	Dimension 3000	日本ビーコ(株)	215(B)	試料表面の凹凸を3次元トポグラフィとして可視化 コンタクトモード タッピングモード
	表面処理・接合装置群		CMP研磨システム(卓上用)	Chemical Mechanical Polishing System	MA-400D	ムサシノ電子(株)	212	半導体ウェハのCMP研磨 セラミックス，金属，電子材料の鏡面研磨
	表面処理・接合装置群		RTA/RTO	Rapid Thermal Anealing/ Rapid Thermal Oxidation	P610CP 7085	アドバンス理工(株)	202	ガス雰囲気中での熱処理装置
	バイオサンプル用装置群		正立型微分干渉・蛍光顕微鏡	Upright Differential Interference Contrast / Fluorescence Microscope	BX51	(株)エビデント	B120
	電子顕微鏡群		簡易SEM	Tabletop Microscope	TM-1000	(株) 日立ハイテク	216	低真空モードで絶縁物試料の観察可
	分光光度計群		紫外可視近赤外分光光度計	UV-Visible Spectrophotometer	V-750	日本分光(株)	B106	溶液試料の定量分析、定性分析
	バイオサンプル用装置群		細胞培養用汎用機器類	General Cell Culture Equipment			B120	哺乳類細胞や大腸菌の培養と関連操作が可能